產(chǎn)品功能:

◆設(shè)備烘干，然結(jié)一體化結(jié)構(gòu)緊湊合理，符合半導(dǎo)體制造標(biāo)準(zhǔn)。

◆穩(wěn)定可靠的工藝溫度控制系統(tǒng)（采用英國(guó)WEST溫度控制器）。

◆采用美國(guó)進(jìn)口加熱燈管加熱。

◆采用先進(jìn)的文氏排氣系統(tǒng)，從而保證了有害氣體的不泄露。

◆設(shè)備控制采用工業(yè)控制機(jī)統(tǒng)一控制。